- AutorIn
- Dipl.-Ing. Bernd Schröter
- Titel
- Entwurf und Charakterisierung eines mikromechanischen Schrittschaltwerkes mit elektrostatischem Antrieb
- Zitierfähige Url:
- https://nbn-resolving.org/urn:nbn:de:bsz:ch1-200800952
- Datum der Einreichung
- 10.01.2008
- Datum der Verteidigung
- 27.06.2008
- Abstract (DE)
- In der vorliegenden Arbeit wird der Nachweis erbracht, dass ein miniaturisiertes Schrittschaltwerk aus einkristallinem Silizium mittels verfügbarer Mikrotechnologien realisierbar ist. Dazu wird die aus der Feinwerktechnik bekannte mechanische Anordnung so angepasst, dass sie mit den Möglichkeiten der gewählten Technologien herstellbar wird. Eine Besonderheit ist die Verwendung flexibler Gelenke. Dadurch entfallen Montage und Justage, die Struktur ist monolithisch. Auch der Werkstoff und das Aktuationsprinzip unterscheiden sich von denen herkömmlicher Schrittschaltwerke. Wegen seiner ausgezeichneten mechanischen Eigenschaften wird einkristallines Silizium ausgewählt. Bei den Antrieben kommt das elektrostatische Wirkprinzip zur Anwendung. Nach einer Einführung in das Themengebiet werden Entwurf und Herstellung des Schrittschaltwerkes behandelt. Die Beschreibung der messtechnischen Charakterisierung und ihrer Ergebnisse schließt sich an. Ein Ausblick auf mögliche Applikationen bildet den Abschluss der Arbeit.
- Freie Schlagwörter
- Miniaturisierung
- Reibung
- Schrittschaltwerk
- Silizium–Mikromechanik
- Verschleiß
- elektrostatische Kammantriebe
- flexible Gelenke
- monolithische Struktur
- Klassifikation (DDC)
- 620
- 600
- Normschlagwörter (GND)
- Mikromechanik
- Mikrosystemtechnik
- GutachterIn
- Prof. Dr.-Ing. Wolfram Dötzel
- Prof. Dr.-Ing. habil. Martin Hoffmann
- Dr.-Ing. Thomas Nagel
- BetreuerIn
- Prof. Dr.-Ing. Wolfram Dötzel
- Den akademischen Grad verleihende / prüfende Institution
- Technische Universität Chemnitz, Chemnitz
- URN Qucosa
- urn:nbn:de:bsz:ch1-200800952
- Veröffentlichungsdatum Qucosa
- 21.07.2008
- Dokumenttyp
- Dissertation
- Sprache des Dokumentes
- Deutsch