- AutorIn
- Dr.-Ing. habil. Karla Hiller
- Titel
- Technologieentwicklung für kapazitive Sensoren mit bewegten Komponenten
- Zitierfähige Url:
- https://nbn-resolving.org/urn:nbn:de:swb:ch1-200401375
- Quellenangabe
- Habilitation Karla Hiller
- Datum der Einreichung
- 20.01.2004
- Datum der Verteidigung
- 20.01.2004
- Abstract (DE)
- Die Arbeit liefert einen Beitrag zur Technologieentwicklung für kapazitive mikromechanische Sensoren mit bewegten Komponenten (z.B. Vakuumsensoren und Drehratensensoren). Es werden Sensorprinzipien, Herstellungstechnologien und Testergebnisse von Prototypen beschrieben.
- Abstract (EN)
- This work is a contribution to technology development of capacitive microsensors with moved components, such as vacuum pressure sensors and angular rate sensors. It describes the sensor principles, Si microfabrication technologies and test results of prototypes.
- Freie Schlagwörter
- Mikrotechnologie
- Vakuumsensor
- Klassifikation (DDC)
- 620
- Normschlagwörter (GND)
- Drehratensensor
- Mikromechanik
- Mikrosystemtechnik
- GutachterIn
- Prof. Dr. Dr. Prof. h.c. mult. Thomas Gessner
- Den akademischen Grad verleihende / prüfende Institution
- Technische Universität Chemnitz, Chemnitz
- URN Qucosa
- urn:nbn:de:swb:ch1-200401375
- Veröffentlichungsdatum Qucosa
- 16.09.2004
- Dokumenttyp
- Habilitation
- Sprache des Dokumentes
- Deutsch